通过离散事件系统建模实现300毫米晶圆厂的高保真快速原型设计
High-fidelity rapid prototyping of 300 mm fabs through discrete event system modeling
Computers in Industry · 2001
被引 20
ABS 3
- Jonghun Park
- Spyros Reveliotis 通讯
- Douglas A. Bodner
- Chen Zhou
- Jennfong Wu
- Leon F. McGinnis
半导体制造离散事件系统建模快速原型设计系统工程